科利登GlobalScan-Ⅰ系统定位复杂设计和成品率问题

【作者】

【刊名】今日电子

【关键词】 成品率 步进扫描 图像叠加 掩模 系统定位 集成电路 量产时间 问题 产品 加工成本

【摘要】效和稳固。GlobalScan-Ⅰ支持多种物镜选件，采用亚微米图像叠加方法的精密定点、步进扫描模式和实时的集成CAD导航技术。

【年份】2004

【期号】第12期

【所属分类】 TN305.7;TN915.07